简要介绍无尘室黄光区施工
无尘室黄光区施工是针对半导体、面板显示（如 LCD/OLED）等精密制造领域的特殊洁净施工，核心是在高洁净度环境中，通过 “黄光照明 + 防微粒 / 防交叉污染管控”，保障光刻等核心工艺相关设施（如设备基础、管线、洁净墙体）的安装精度与环境稳定性，具体可简要概括为以下 3 点：
1.核心环境要求：黄光照明 + 严苛洁净度
因光刻胶对蓝光、紫外光敏感，施工区域需全程采用波长 500-600nm 的黄光照明，避免光源影响后续工艺材料；同时需维持 Class 10-Class 1000（每立方米微粒数≤10-1000 个）的洁净度，施工人员需穿防静电无尘服、经风淋室除尘，所有施工工具、材料需提前在洁净区 “清洁除微粒” 后入场。
2.关键施工管控：防污染 + 高精度
施工全程围绕 “防微粒、防化学污染、保精度” 展开：比如管线焊接（如气体管道）需用无尘焊接设备，避免焊渣残留；墙体 / 地面安装采用 “密封式拼接”，缝隙用专用无尘密封胶填充，防止微粒积聚；设备基础浇筑需控制平整度误差在 ±0.1mm 内，适配精密光刻设备的安装需求，且所有施工废料需实时密封清运，避免污染扩散。
3.适配工艺需求：与生产流程协同
黄光区多为生产核心区，施工需与车间整体洁净系统（如 FFU 风机过滤单元、排风系统）同步调试，确保施工后区域的温湿度（通常 23±2℃、湿度 45%-55%）、压差（相对相邻区域正压 5-10Pa）符合工艺标准；部分施工需在 “设备搬入前预安装”，避免后期设备进场时破坏洁净环境，保障施工后可快速衔接生产。
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